发明名称
摘要
申请公布号 DE2120388(A1) 申请公布日期 1971.12.16
申请号 DE19712120388 申请日期 1971.04.26
申请人 AGENCY IND SCIENCE TECHN 发明人
分类号 H01L21/306;H01L27/00;H01L29/00;H01L29/04;(IPC1-7):H01L3/12 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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