发明名称 FORMATION OF SINGLE CRYSTAL SILICON FILM ON INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH01259526(A) 申请公布日期 1989.10.17
申请号 JP19880088732 申请日期 1988.04.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAMURA TAKASHI
分类号 H01L21/762;H01L21/205;H01L21/76;H01L21/84;H01L27/00 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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