发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01258431(A) 申请公布日期 1989.10.16
申请号 JP19880086511 申请日期 1988.04.08
申请人 NEC CORP 发明人 KUNIMASA KAZUO
分类号 H01L21/316;H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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