发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0442541(A) 申请公布日期 1992.02.13
申请号 JP19900150853 申请日期 1990.06.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KUWAGAKI MAMORU;MURASE KATSUMI;NAKAJIMA SADAO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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