发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0442541(A) |
申请公布日期 |
1992.02.13 |
申请号 |
JP19900150853 |
申请日期 |
1990.06.08 |
申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KUWAGAKI MAMORU;MURASE KATSUMI;NAKAJIMA SADAO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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