发明名称 METHOD OF MANUFACTURING CONFORMAL DIAMOND-LIKE CARBON COATING
摘要
申请公布号 RU2099282(C1) 申请公布日期 1997.12.20
申请号 RU19960110600 申请日期 1996.06.05
申请人 ZAKRYTOE AKTSIONERNOE OBSHCHESTVO "TEKHNO-TM" 发明人
分类号 C23C16/27;C01B31/06;C23C16/26 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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