发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04159768(A) 申请公布日期 1992.06.02
申请号 JP19900284929 申请日期 1990.10.23
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 IGARASHI TOMOHIRO;TAKASHINA REIJI
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L29/93 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
地址