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发明名称 TRAP SITE DETECTING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05332712(A) 申请公布日期 1993.12.14
申请号 JP19920135317 申请日期 1992.05.27
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 YAGI AKIRA;OKADA TAKAO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01N37/00;G01Q60/04;G01Q60/10;G01Q60/40;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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