| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR MANUFACTURE USING HELIUM-ASSISTED ETCH |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1166346(A1) |
申请公布日期 |
2002.01.02 |
| 申请号 |
EP20000986720 |
申请日期 |
2000.12.22 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;PHILIPS SEMICONDUCTORS INC |
发明人 |
ZHENG, TAMMY |
| 分类号 |
H01L21/3065;H01L21/28;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/3065 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
