拉晶装置

摘要

一种拉晶装置，包括机械转动装置，置于机械转动装置上的带有上炉盖的主炉体，置于主炉体上炉盖上的下端带有第一真空阀门，置于第一真空阀门与上炉盖之间并连接在上炉盖上的第二真空阀门。当一次晶体生长结束后，将第一、二两真空阀门关闭，可以将上炉筒带着晶体从主炉体上移开，单独进行退火。而主炉体内始终保持着原有的高温气氛，可以连续生长晶体。既节约能源，又加快生产周期，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

1.一种拉晶装置，包括机械转动装置，置于机械转动装置上的带有上炉盖的主炉体，置于主炉体上炉盖上的下端带有第一真空阀门的上炉筒，其特征在于包括：置于第一真空阀门与上炉盖之间并连接在上炉盖上的第二真空阀门。