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发明名称
摘要
申请公布号 JP2699954(B2) 申请公布日期 1998.01.19
申请号 JP19950266926 申请日期 1995.10.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L21/603;H01L21/607;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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