发明名称 |
用于制备晶态含锂化合物的气相沉积方法 |
摘要 |
一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法,包括:提供该化合物的每个组分元素的蒸气源,该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源;将基材加热至大致150℃和大致450℃之间;以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素,其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。 |
申请公布号 |
CN105793462A |
申请公布日期 |
2016.07.20 |
申请号 |
CN201580002883.2 |
申请日期 |
2015.01.07 |
申请人 |
爱利卡技术有限公司 |
发明人 |
D·C·A·史密斯;B·E·哈伊登;L·M·伯金斯;C·E·李;A·阿纳斯塔索普洛斯;K·J·哈钦斯;S·亚克勒瓦 |
分类号 |
C23C14/08(2006.01)I;H01M4/04(2006.01)I;H01M10/052(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/08(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
谭冀 |
主权项 |
一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法,该方法包括:提供该化合物的每个组分元素的蒸气源,其中该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源;将基材加热至大致150℃和大致450℃之间;以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素,其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。 |
地址 |
英国南安普敦 |