发明名称 用于制备晶态含锂化合物的气相沉积方法
摘要 一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法,包括:提供该化合物的每个组分元素的蒸气源,该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源;将基材加热至大致150℃和大致450℃之间;以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素,其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。
申请公布号 CN105793462A 申请公布日期 2016.07.20
申请号 CN201580002883.2 申请日期 2015.01.07
申请人 爱利卡技术有限公司 发明人 D·C·A·史密斯;B·E·哈伊登;L·M·伯金斯;C·E·李;A·阿纳斯塔索普洛斯;K·J·哈钦斯;S·亚克勒瓦
分类号 C23C14/08(2006.01)I;H01M4/04(2006.01)I;H01M10/052(2006.01)I 主分类号 C23C14/08(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人 谭冀
主权项 一种用于制备晶态含锂过渡金属氧化物化合物的气相沉积方法,该方法包括:提供该化合物的每个组分元素的蒸气源,其中该蒸气源包括至少锂源、氧源和一种或多种过渡金属的一个或多个源;将基材加热至大致150℃和大致450℃之间;以及向已加热的基材上共沉积来自蒸气源的组分元素,其中该组分元素在该基材上反应以形成晶态化合物。
地址 英国南安普敦