发明名称 METHOD ALLOWING THE CREATION OF NANOMETRIC STRUCTURES BY SELF-ASSEMBLY OF BLOCK COPOLYMERS
摘要 본 발명은 블록 공중합체의 자가-어셈블리에 의한 나노계측 구조의 제조를 허용하는 방법에 관한 것으로서, 이의 블록들 중 하나 이상은 하기 화학식 I 을 만족하는 하나 이상의 시클릭 개체를 포함하는 단량체의 중합으로부터 도모되는 방법에 관한 것이다:[식 중, X= Si(R,R); Ge(R,R) Z= Si(R,R); Ge(R,R); O; S; C(R,R) Y= O; S; C(R,R) T= O; S; C(R,R) R, R, R, R,R, R,R, R는 수소, 헤테로원자를 포함하거나 그렇지 않은 선형, 분지형 또는 환형 알킬기, 및 헤테로원자를 포함하거나 그렇지 않은 방향족기로부터 선택됨].
申请公布号 KR20160096657(A) 申请公布日期 2016.08.16
申请号 KR20167018198 申请日期 2014.12.11
申请人 ARKEMA FRANCE;UNIVERSITE DE BORDEAUX;INSTITUT POLYTECHNIQUE DE BORDEAUX;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE 发明人 MUMTAZ MUHAMMAD;AISSOU KARIM;BROCHON CYRIL;CLOUTET ERIC;FLEURY GUILLAUME;HADZIIOANNOU GEORGES;NAVARRO CHRISTOPHE;NICOLET CELIA;CHEVALIER XAVIER
分类号 G03F7/00;B81C1/00;C08G77/42;C08G77/442;C09D153/00;H01L21/033 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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