发明名称 切削液,其制法及结晶块之切断方法
摘要 一种水溶性切削液,是在无机膨润土的水分散液中,溶解聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑、2-甲基-1-硬脂酸酯、和硼酸咪唑,在该主成分中添加油酸(润滑性增强剂)、乙二胺四醋酸钠盐(金属离子吸附剂)、苯并三唑(防锈辅助剂)以及矽系消泡剂等辅助剂而构成的。解决了使用非水溶性切削油时,被切削材料洗净步骤中所伴随的大气污染等问题,同时还降低了用钢丝锯切断大直径单结晶矽等晶块时晶片的挠曲性。
申请公布号 TW326057 申请公布日期 1998.02.01
申请号 TW084113472 申请日期 1995.12.16
申请人 三益半导体工业股份有限公司 发明人 外山公平
分类号 C10M177/00 主分类号 C10M177/00
代理机构 代理人 赖经臣 台北巿南京东路三段三四六号白宫企业大楼一一一二室
主权项 1.一种切削液组成物,其特征为含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,及3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑,以及余者为水。2.一种切削液组成物,其特征为含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,及3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑,以15.90-17.5重量%之2-甲基-1-硬脂酸酯,以及余者为水。3.一种切削液组成物,其特征为含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,及3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑,以15.90-17.5重量%之2-甲基-1-硬脂酸酯,及2.96-4.21重量%之硼酸咪唑以及余者为水。4.如申请专利范围第1,2或3项之切削液组成物,其中尚含有自保水性增强剂、水洗净增强剂、防止磨料沈淀剂、磨料分散性增强剂、润滑性增强剂、冷却性增强剂、浸透性增强剂、防锈剂、防锈辅助剂、不冻性增强剂、粘度恢复辅助剂及消泡剂组成之群中任意选出的多种主剂或辅助剂。5.一种制备如申请专利范围第3项之切削液组成物之方法,其特征为将至少一种无机或有机膨润土分散在水中,在该分散液中溶解含有由聚合脂肪酸三酸甘油脂和咪唑反应而得到的聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑的原料液(1)后,在该溶液中溶解含有由2-甲基-2- 咯烷酮和硬脂酸反应而得之2-甲基-1-硬脂酸酯的原料液(2)和油酸,进而在此溶液中溶解含有咪唑和硼酸反应得到的硼酸咪唑的原料液(3)后,在此溶液中添加乙二胺四醋酸钠盐、苯并三唑、矽系消泡剂等的多主剂或辅助剂。6.一种结晶块的切断方法,其特征为在含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,及3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑,以及余者为水之切削液组成物中,于存在分散有磨料之分散液下,藉由钢丝锯或带锯将单晶矽等晶块切成晶片。7.一种结晶块的切断方法,其特征为在含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑及15.9-17.5重量%之2-甲基-1-硬脂酸酯,以及余者为水之切削液组成物中,于存在分散有磨料之分散液下,藉由钢丝锯或带锯将单晶矽等晶块切成晶片。8.一种结晶块的切断方法,其特征为在含有0.80-1.20重量%之至少一种无机或有机膨润土,3.80-5.70重量%之聚合脂肪酸三酸甘油脂咪唑,15.9-17.5重量%之2-甲基-1-硬脂酸酯及2.96-4.21重量%之硼酸咪唑,以及余者为水之切削液组成物中,于存在分散有磨料之分散液下,藉由钢丝锯或带锯将单晶矽等晶块切成晶片。9.如申请专利范围第6,7或8项之结晶块的切断方法,其中所述切削液组成物尚含有自保水性增强剂、水洗净增强剂、防止磨料沉淀剂、磨料分散性增强剂、润滑性增强剂、冷却性增强剂、浸透性增强剂、防锈剂、防锈辅助剂、不冻性增强剂、粘度恢复辅助剂及消泡剂组成之群中任意选出的多种主剂或辅助剂。
地址 日本