| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS51123582(A) |
申请公布日期 |
1976.10.28 |
| 申请号 |
JP19750048462 |
申请日期 |
1975.04.21 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YANAGIDA KIMIO;BAN YASUTAKA;KAWASHIMA KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/265;H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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