发明名称 OPERATION TEST METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS55117976(A) 申请公布日期 1980.09.10
申请号 JP19790025310 申请日期 1979.03.05
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 IWASE KANJI;TOYODA MINORU
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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