| 发明名称 |
FILM CARRIER AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6412538(A) |
申请公布日期 |
1989.01.17 |
| 申请号 |
JP19870167896 |
申请日期 |
1987.07.07 |
| 申请人 |
NIPPON MINING CO LTD |
发明人 |
NAKAYAMA HIROSHI;TSUJI MASAHIRO;KAWAUCHI SUSUMU |
| 分类号 |
C22F1/08;C22C9/00;C22F1/00;H01L21/60 |
主分类号 |
C22F1/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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