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发明名称
COMPOSITE ION BEAM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH01306557(A)
申请公布日期
1989.12.11
申请号
JP19880137515
申请日期
1988.06.06
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
TSUKAGOSHI OSAMU
分类号
C23C14/32;C23C14/48
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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