| 发明名称 |
SCAN TYPE TUNNEL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01320402(A) |
申请公布日期 |
1989.12.26 |
| 申请号 |
JP19880153485 |
申请日期 |
1988.06.23 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;TOSHIBA CORP |
发明人 |
TOKUMOTO HIROSHI;SUGIHARA KAZUYOSHI;AKAMA YOSHIAKI;SAKAI AKIRA |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/00;G01N23/00;G01N37/00;G01Q10/02;G01Q30/18;G01Q60/10;H01J37/20;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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