发明名称 DIELECTRIC ISOLATION TYPE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH02260442(A) 申请公布日期 1990.10.23
申请号 JP19890079632 申请日期 1989.03.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANZAWA KATSUJIRO;FURUKAWA KAZUYOSHI;FUKUDA KIYOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/76;H01L29/04;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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