发明名称 ELECTRON MICROSCOPE OR SIMILAR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03163736(A) 申请公布日期 1991.07.15
申请号 JP19900063028 申请日期 1990.03.13
申请人 JEOL LTD;TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC 发明人 ISHIGURO TOMOOTSU;NARUSE MIKIO;YANAGISAWA TAKEO
分类号 G01N1/28;H01J37/20 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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