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经营范围
发明名称
ELECTRON MICROSCOPE OR SIMILAR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03163736(A)
申请公布日期
1991.07.15
申请号
JP19900063028
申请日期
1990.03.13
申请人
JEOL LTD;TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC
发明人
ISHIGURO TOMOOTSU;NARUSE MIKIO;YANAGISAWA TAKEO
分类号
G01N1/28;H01J37/20
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
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