METHOD FOR PRODUCING A STRUCTURE OF INTERFERENCE COLOURED FILTERS

摘要

Für die Herstellung einer Farbfilterschichtsystem-Struktur auf einer Unterlage, bei der in Liftoff-Technik eine strukturierte Lackschicht (32) abgelegt wird, mit Lackschichtflächen-Bereichen und lackschichtfreien Bereichen, dann ein Farbfilterschichtsystem abgelegt wird (31) und danach mit Lackschichtflächenbereichen die darauf abgelegten Bereiche des Farbfilterschichtsystems entfernt werden, wird das Ablegen des Farbfilterschichtsystems (31) durch ein plasmaunterstütztes Beschichtungsverfahren bei einer Temperatur von höchstens 150 DEG C vorgenommen.