| 发明名称 |
EXPOSURE SYSTEM AND MANUFACTURE OF DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11233399(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
| 申请号 |
JP19980035929 |
申请日期 |
1998.02.18 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MIWA YOSHINORI;YAMANE YUKIO |
| 分类号 |
H01L21/027;G03B27/42;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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