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发明名称
摘要
申请公布号 JP3301585(B2) 申请公布日期 2002.07.15
申请号 JP19960198081 申请日期 1996.07.26
申请人 发明人
分类号 F26B3/06;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B3/06
代理机构 代理人
主权项
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