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发明名称 Transport box for optical masks
摘要
申请公布号 AU2002338441(A1) 申请公布日期 2002.11.05
申请号 AU20020338441 申请日期 2002.04.18
申请人 ACR AUTOMATION IN CLEANROOM GMBH 发明人 FELIX JAGER;EVA KRUGER-VELTHUSEN;DANIEL DECLERCQ
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00;G03F7/20 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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