单质量平板三轴微机械加速度计

摘要

本发明公开了一种单质量平板三轴微机械加速度计，质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上，质量平板向四个方向伸出的四组梳齿，分别与固定在基底上的四个电极的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器——电容器C40a、电容器C40b、电容器C42a和电容器C42b，电容器C42a和电容器C42b等效为沿X方向的电容器Cx，电容器C40a和电容器C40b等效为沿Y方向的电容器Cy，其特征在于：还包括位于质量平板下面的一个下极板，质量平板与下极板构成平行板电容器Cz，电容器Cz与电容器Cx、电容器Cy一起构成三轴加速度计。质量平板的四组梳齿与固定在基底上的四对梳齿以及下极板，通过微细加工在一个芯片上。优点是一个质量平板同时敏感X、Y、Z三个方向线加速度，体积小，重量轻。

主权项

1、一种单质量平板三轴微机械加速度计，质量平板由四组内梁和四组外梁支撑于基底上，质量平板向四个方向伸出的四组梳齿，分别与固定在基底上的四个电极上伸出的梳齿交叉构成了四对梳齿电容器——电容器C40a、电容器C40b、电容器C42a和电容器C42b，电容器C42a和电容器C42b等效为沿X方向的电容器Cx，电容器C40a和电容器C40b等效为沿Y方向的电容器Cy，其特征在于：还包括位于质量平板下面的一个下极板，质量平板与下极板构成平行板电容器Cz，电容器Cz与电容器Cx、电容器Cy一起构成三轴加速度计。