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发明名称 Method for manufacturing semiconductor integrated circuit device
摘要
申请公布号 KR100617621(B1) 申请公布日期 2006.09.01
申请号 KR20020039991 申请日期 2002.07.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/108 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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