| 摘要 |
본 발명은, 복수의 와이어가이드 간에 나선상으로 권회된 축방향으로 주행하는 와이어로 와이어열을 형성하고, 와이어열에 워크를 대는 워크절단에 있어서, 전회의 워크의 절단에 사용한 후의 와이어를 재차 사용하여 다음 워크를 절단하는 절단방법으로서, 다음 워크를 절단할 때의 와이어장력을 전회의 워크의 절단에 있어서의 와이어장력에 대하여, 87~95%의 범위의 값으로 하고, 다음 워크를 절단할 때의 신선공급량을, 전회의 워크를 절단할 때의 신선공급량에 대하여, 125% 이상의 범위의 값으로 하고, 와이어를 재차 사용하여 다음 워크를 절단하는 워크의 절단방법이다. 이에 따라, 전회의 워크의 절단에 사용한 사용완료된 와이어를 재차, 전회의 워크를 절단한 조건과 상이한 조건으로 워크를 절단함으로써, 동일한 와이어로 절단할 수 있는 워크의 개수를 늘리면서, 와이어의 파단의 발생을 저감하고, 웨이퍼의 휨의 악화를 억제할 수 있는 워크의 절단방법이 제공된다. |
