電子デバイスを試験するためのプローブカードアセンブリ

摘要

【課題】 プローブカードアセンブリのさまざまな改良を提供することである。【解決手段】 プローブカードアセンブリは、プローブを所定の位置に保持するプローブガイドを含むガイドプレートを備えることができる。このプローブカードアセンブリはさらに配線構造体を備えることができ、この配線構造体は、プローブの接続先端が配線構造体上の接点に対して位置決めされ、接続先端がそれらの接点に取り付けられるように、ガイドプレートに取り付けられる。このガイドプレートの配線構造体への取付けは、配線構造体が、ガイドプレートよりも大きな比率で膨張または収縮することを可能にすることができる。プローブは、大電流および熱応力で故障するコンプライアント要素であって、接触先端から離れて位置するコンプライアント要素を含むことができる。【選択図】 図１