| 摘要 |
기판을 지지하기 위한 장치의 실시예들이 본원에서 개시된다. 몇몇 실시예들에서, 기판을 지지하기 위한 장치는: 지지 표면; 및 지지 표면으로부터 돌출되는 복수의 기판 접촉 엘리먼트들을 포함하고, 복수의 기판 접촉 엘리먼트들은, 실리콘의 경도(hardness)와 동일한 또는 그 미만인 경도를 갖고, 낮은 접착력(adhesion)을 가지며, 슬라이딩을 방지하기에 충분히 큰 정지 마찰 계수(coefficient of static friction)를 갖고, 10 Ra와 동일한 또는 그 미만인 표면 거칠기(surface roughness)를 가지며, 전기 전도성인 재료로 형성된다. |
