发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Silizium-Halbleiterkoerpern |
摘要 |
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申请公布号 |
DE1514134(A1) |
申请公布日期 |
1969.05.29 |
申请号 |
DE19651514134 |
申请日期 |
1965.04.14 |
申请人 |
JOSEPH LUCAS INDUSTRIES LTD. |
发明人 |
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分类号 |
C30B31/00;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/223;H01L29/00;H01L29/167;H01L29/36;H01L29/73 |
主分类号 |
C30B31/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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