发明名称 Verfahren zur Herstellung von Silizium-Halbleiterkoerpern
摘要
申请公布号 DE1514134(A1) 申请公布日期 1969.05.29
申请号 DE19651514134 申请日期 1965.04.14
申请人 JOSEPH LUCAS INDUSTRIES LTD. 发明人
分类号 C30B31/00;C30B31/06;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/223;H01L29/00;H01L29/167;H01L29/36;H01L29/73 主分类号 C30B31/00
代理机构 代理人
主权项
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