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发明名称 WAFER EXPANSION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0116069(Y1) 申请公布日期 1998.04.18
申请号 KR19910009816U 申请日期 1991.06.28
申请人 SAMSUNG AEROSPACE IND. CO.,LTD 发明人 LEE, HEE-JOON
分类号 H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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