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发明名称 FORMATION METHOD OF SUBSTRATE JUNCTION AND BOAT USED THEREFOR
摘要
申请公布号 KR0134943(B1) 申请公布日期 1998.04.20
申请号 KR19940010208 申请日期 1994.05.10
申请人 SEOUL UNIVERSITY ENGINEERING EDUCATION AND RESEARCH FOUNDATION 发明人 KIM, SUNG-JOON;SHI, SANG-KI
分类号 H01L21/205;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/223;H01L33/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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