发明名称 METHOD OF FORMING IC
摘要
申请公布号 JPS53122387(A) 申请公布日期 1978.10.25
申请号 JP19780010607 申请日期 1978.02.03
申请人 IBM 发明人 ARUUIN II MISHIERU;ROBAATO OO SHIYUENKAA;JIEEMUSU EFU JIIGURAA
分类号 H01L27/08;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/76;H01L29/36;H01L29/73 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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