| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR POSITIONING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04156000(A) |
申请公布日期 |
1992.05.28 |
| 申请号 |
JP19900281262 |
申请日期 |
1990.10.19 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD;TOUKIYOU EREKUTORON YAMANASHI KK |
发明人 |
SAEGUSA TAKESHI |
| 分类号 |
B65G47/88;B65G43/00;B65G47/14;B65G47/91;H05K13/02;H05K13/04 |
主分类号 |
B65G47/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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