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经营范围
发明名称
PLASMA TREATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04293783(A)
申请公布日期
1992.10.19
申请号
JP19910059248
申请日期
1991.03.25
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
KONDO KENJI
分类号
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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