发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09260528(A) 申请公布日期 1997.10.03
申请号 JP19960065018 申请日期 1996.03.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ITAGAKI MINEHIRO;NAKAMURA YOSHIFUMI;BESSHO YOSHIHIRO
分类号 H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12 主分类号 H01L23/12
代理机构 代理人
主权项
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