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发明名称 HALBLEITERANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
摘要
申请公布号 DE69029779(T2) 申请公布日期 1997.09.18
申请号 DE19906029779T 申请日期 1990.04.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 ARAI, KATSUJIRO, TAKATSUKI-SHI, OSAKA 569, JP
分类号 H01L21/8238;H01L21/8247;H01L27/092;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/105;H01L27/088 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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