Verfahren und Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation für eine Vakuumeinheit,申请号DE19924229834-传众专利搜索

发明名称	Verfahren und Einrichtung zum elektrischen Verarbeiten von Vakuumdruckinformation für eine Vakuumeinheit
摘要
申请公布号	DE4229834(C2)	申请公布日期	1998.03.26
申请号	DE19924229834	申请日期	1992.09.07
申请人	SMC K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	SUGANO, SHIGERU, IBARAKI, JP;TAKEBAYASHI, TAKASHI, IBARAKI, JP;NAGAI, SHIGEKAZU, IBARAKI, JP;ITO, YOSHIHARU, IBARAKI, JP;SAITO, MITSUHIRO, IBARAKI, JP;MATSUSHIMA, HIROSHI, IBARAKI, JP;SAITOH, AKIO, IBARAKI, JP
分类号	B25J15/06;B65G47/91;B65H3/08;B65H7/16;F04F5/52;F15B20/00;G01D1/18;G01D7/00;G01L9/00;G01L9/08;(IPC1-7):G01L19/00;G01F1/00	主分类号	B25J15/06
代理机构		代理人
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