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发明名称 PLASMAREINIGUNGSVERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON RÜCKSTÄNDEN IN EINER PLASMABEHANDLUNGSKAMMER
摘要
申请公布号 DE69320963(D1) 申请公布日期 1998.10.15
申请号 DE19936020963 申请日期 1993.06.16
申请人 LAM RESEARCH CORP., FREMONT, CALIF., US 发明人 CHEN, CHING-HWA, MILPITAS, CA 95035, US;ARNETT, DAVID, FREMONT, CA 94536, US;LIU, DAVID, SAN JOSE, CA 95129, US
分类号 B08B7/00;C23C16/44;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23C16/44;B08B3/10;B44C1/22 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
主权项
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