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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1145871(A) 申请公布日期 1999.02.16
申请号 JP19970200154 申请日期 1997.07.25
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 KANEKO KATSUNORI;ISO AKINORI
分类号 F26B5/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
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