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发明名称 PATTERN-DRAWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1145844(A) 申请公布日期 1999.02.16
申请号 JP19970198560 申请日期 1997.07.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OTA TSUNEAKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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