发明名称
摘要
申请公布号 JP2963210(B2) 申请公布日期 1999.10.18
申请号 JP19910001649 申请日期 1991.01.10
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 KITAZAWA GIICHI;KURODA YUKITERU
分类号 H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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