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发明名称
摘要
申请公布号
JP2963210(B2)
申请公布日期
1999.10.18
申请号
JP19910001649
申请日期
1991.01.10
申请人
TOKYO EREKUTORON KK
发明人
KITAZAWA GIICHI;KURODA YUKITERU
分类号
H01L21/324;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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