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发明名称
摘要
申请公布号 JP2963204(B2) 申请公布日期 1999.10.18
申请号 JP19900401691 申请日期 1990.12.12
申请人 MITSUBISHI DENKI KK 发明人 AKYAMA HAJIME
分类号 H01L29/78;H01L21/322;H01L21/336;H01L29/739;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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