发明名称 |
半导体测试仪的程序执行系统 |
摘要 |
公开了半导体测试仪的一种程序执行系统。在这种系统中,器件测试程序包含以通用程序设计语言编写的第一语句和以与半导体测试仪有关的非通用程序设计语言编写的第二语句,各语句在分开的程序执行部分执行。 |
申请公布号 |
CN1293388C |
申请公布日期 |
2007.01.03 |
申请号 |
CN01111259.X |
申请日期 |
2001.03.09 |
申请人 |
株式会社艾德温特斯特 |
发明人 |
山下安吉 |
分类号 |
G01R31/28(2006.01);G01R31/26(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
G01R31/28(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
梁永 |
主权项 |
1.半导体测试仪的一种程序执行系统,通过执行器件测试程序用半导体测试仪对半导体器件进行各种测试,其特征在于,它包括:第一程序执行部分,供执行与所述半导体测试仪有关的一些第一语句,第一语句包含在所述器件测试程序中,以非通用程序设计语言编写;一个测试执行部分,进行对所述半导体器件产生各种测试信号,并且获取从所述半导体器件回应所述测试信号而输出的输出信号的操作,在所述第一程序执行部分执行所述第一语句时,执行所述测试信号和所述输出信号的输入/输出操作;和第二程序执行部分,供执行与所述半导体测试仪无关的一些第二语句,第二语句包含在所述器件测试程序中,以通用程序设计语言编写。 |
地址 |
日本东京都 |