照明光学装置、曝光装置以及元件制造方法

摘要

本发明提供一种照明光学装置，即便使用转向镜系统来改变形成于照明光瞳面上的光强度分布的外形形状，亦可以大致维持预期的轮廓。根据来自光源(1)的光来对被照射面(M)进行照明的本发明的照明光学装置包括：棱镜系统(6)，用以改变一对棱镜(6a、6b)在光轴(AX)上的间隔，以改变照明光瞳面(8a)中之光强度分布；以及1个或多个可动透镜(4b)，配置于棱镜系统与被照射面之间的光路中，并根据一对棱镜在光轴上的间隔的变化而可以在光轴方向上移动。