发明名称 Transfer ESC based on a wafer
摘要
申请公布号 IE20060505(A1) 申请公布日期 2008.02.06
申请号 IE20060000505 申请日期 2006.07.10
申请人 UDO RETZLAFF;GERARD MAC NEILL 发明人 UDO RETZLAFF;GERARD MAC NEILL
分类号 H01L21/67 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
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