发明名称 PHOTOMASK DEFECT REPAIR METHOD
摘要
申请公布号 KR0141147(B1) 申请公布日期 1998.06.15
申请号 KR19950018120 申请日期 1995.06.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KO, JAE-BUM
分类号 G03F1/72;(IPC1-7):G03F1/00 主分类号 G03F1/72
代理机构 代理人
主权项
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