扫描探针检查设备

摘要

在衬底的顶表面上形成的绝缘层上形成一对焊盘(1)，并且在焊盘(1)之间以相等的间隔排列多个通孔(2)。通过在绝缘层上暴露的上层互连线(4)或者在绝缘层中掩埋的下层互连线(3)，交替地连接相邻通孔(2)，这样组成了检测图案。DC电源(12)连接在该对焊盘(1)之间，并且将恒定电流Io提供到通孔(2)的链式图案。两个探针(10)沿着通孔(2)的链式图案在芯片表面上移动，同时保持给定间隙d。因此，探针(10)顺序地扫描通过通孔(2)的链式图案的芯片表面暴露的上层互连线(4)。

主权项

1.一种扫描探针检查设备，用于检测多个无源元件中的无源元件异常，该多个无源元件连接在一起以形成链式图案，所述链式图案的各部分间断地暴露于芯片的表面，所述扫描探针检查设备包括：用于在所述链式图案的两端之间施加偏压的偏压提供器；以由所述图案的所述暴露部分之间的距离确定的间隙排列的两个探针；用于检测所述两个探针之间的电势差的检测器；以及扫描部件，其使所述两个探针在包含所述芯片的晶片的表面上进行扫描，同时保持所述两个探针之间的所述间隙不变。