无摩擦惯性步进扫描器、同点扫描双探针显微镜

摘要

无摩擦惯性步进扫描器、同点扫描双探针显微镜涉及压电扫描步进器和扫描探针显微镜，无摩擦惯性步进扫描器包括XYZ压电扫描管、基座，还包括拉力器、压片，XYZ压电扫描管的一端固定于基座，另一端为扫描端，压片置于该扫描端上，拉力器将压片拉向基座，扫描端托住该压片并与该压片产生压力，压片与XYZ压电扫描管之间电绝缘。用该无摩擦惯性步进扫描器可制成扫描定位精度极高的同点扫描双探针显微镜，包括基体、定位座、第一探针、第二探针、第一Z定位器、第二Z定位器、无摩擦惯性步进扫描器、样品。

主权项

1、一种无摩擦惯性步进扫描器，包括：XYZ压电扫描管、基座，其特征在于还包括拉力器、压片，XYZ压电扫描管的一端固定于基座，另一端为扫描端，压片置于该扫描端上，拉力器将压片拉向基座，所述扫描端托住该压片并与该压片产生压力，压片与XYZ压电扫描管之间电绝缘。