用于传送玻璃的盒和机械手、以及具有该盒和机械手的盒系统

摘要

本发明公开一种用于传送玻璃衬底的盒和机械手及具有该盒和机械手的盒系统。所述用于传送衬底的盒系统包括：衬底传送盒，其包括盒外壳和多个衬底悬浮装载板；以及衬底传送机械手，所述衬底传送机械手包括：机械手主体；多个手指，所述手指具有端部，所述端部选择性地泊靠至所述衬底悬浮装载板的一个侧壁和从所述衬底悬浮装载板的一个侧壁上释放；以及至少一个载具，可相对移动地抓握所述衬底以将所述衬底装载到所述衬底传送盒中或从所述衬底传送盒抽出所述衬底。由此，可以在将衬底装载到盒中和从盒中抽出衬底时采用基于空气悬浮的无接触方式，从而比传统盒系统更有效地减少衬底上的划伤缺陷。

主权项

1.一种用于传送衬底的盒系统，所述盒系统包括：衬底传送盒，其包括形成外观的盒外壳和多个衬底悬浮装载板，所述多个衬底悬浮装载板被布置成在所述盒外壳中沿高度方向相互间隔开并形成有多个第一空气喷射孔以使所述衬底悬浮；以及衬底传送机械手，用于将所述衬底装载到所述衬底传送盒中或从所述衬底传送盒抽出所述衬底，所述衬底传送机械手包括：机械手主体；多个手指，所述手指在其表面上形成有多个第二空气喷射孔以使所述衬底悬浮，并具有端部，所述端部选择性地泊靠至连接到所述机械手主体的所述衬底悬浮装载板的一个侧壁和从所述衬底悬浮装载板的一个侧壁上释放；以及至少一个载具，沿所述多个手指中的至少一个手指的长度方向可相对移动地耦合到所述至少一个手指，并抓握所述衬底以将所述衬底装载到所述衬底传送盒中或从所述衬底传送盒抽出所述衬底。